| 品牌： |
广树 |
型号： |
DHF-1200-150-D |
DHF-1200-150-D高温真空管式炉是针对材料表面碳沉积(熏碳)工艺优 化设计。炉管采用高纯石英，两端配备循环水冷法兰，确保高温下密封可靠性。真空系统可实现优于5Pa的极限真空，并具备高温动态保压能力。一侧法兰集成高 真空针阀，用于精确注入液态碳源前驱体，另一侧连接真空泵组，可在低压气氛 下实现均匀碳层沉积，两端水冷法兰确保密封长效稳定。设备标配工业触摸屏， 集成真空显示与多段程序控制，可对液态碳源进行精密注入，实现高重复性碳沉积，适合中试及小批量生产。
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