半导体制造是极其精密的工艺,对生产环境的洁净度、化学纯度和温度有近乎苛刻的要求。PTFE(聚四氟乙烯)因其独特的性能,成为制造这类器件的理想选择:
1.极高的化学稳定性:
PTFE几乎不受任何化学试剂的腐蚀,包括强酸(如HF、硫酸、硝酸)、强碱、强氧化剂和有机溶剂。
在湿法制程(如清洗、蚀刻)中,花篮需要长时间浸泡在各种高纯度、高腐蚀性的化学药液中。使用PTFE可以确保花篮本身不被腐蚀,从而避免污染药液和硅片。
2.极低的表面能和防粘性:
PTFE表面非常光滑,具有“不粘性”。
这可以防止硅片与花篮粘附,便于硅片的取放。同时,也使得附着在花篮表面的污染物(如颗粒、金属离子)更容易被清洗掉,保证了极高的洁净度。
3.高纯度与低析出:
半导体级的PTFE经过特殊处理,其本身含有的金属离子杂质和颗粒物极低。
在超纯净的环境中,它不会析出污染物,避免了这些污染物在高温或化学作用下转移到硅片上,影响芯片的性能和良率。
4.优异的热稳定性:
PTFE能在-200°C至+250°C的温度范围内长期工作。
其出色的绝缘性能避免了静电对敏感电路的影响。
二、.在半导体制造中的应用场景
四氟花篮带提手主要用于半导体前道工艺的湿法加工区域,具体包括:
清洗工序:用于去除硅片表面的颗粒、有机物和金属污染物。
蚀刻工序:在化学药液中精确地去除特定的材料层。
去胶工序:去除光刻后留下的光刻胶。
湿法扩散/薄膜前后的传输和暂存。
在这些工序中,花篮会带着硅片一起浸入化学槽、超纯水清洗槽和干燥设备中。提手的设计方便了自动化机械臂或操作员进行跨槽、跨设备的搬运
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