高校科研实验多路智能气体配比器 - 机械产品供应发布_机械网_中国机械网_机械交易平台_机械供应信息发布_机械求购信息发布—

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郑科探

型号：

智能气体混合配比器(Mass Flow Meter 缩写为MFM)用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。

它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括；电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器

多功能流量积算仪，对市场大部分流量计，流量控制器兼容，工作电压范围宽，抗干扰能力强，采用工业控制器plc稳定可靠。7寸工控触摸屏人机界面操作简单可靠，系统功能强大，秒杀仪表控制功能。

? 流量显示仪用于为气体质量流量计（MFM）提供工作电源，操作控制，流量设定和流量数字显示等。可直接与七星D07系列和CS系列质量流量计配套使用，原则上也可与国内外其他品牌质量流量控制器配合使用

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