一、特种气体间的设计应符合下列规定：
1、特种气体间应设置排风系统，并应按负压设计；
2、 特种气体间应采用防火隔墙相互隔离；
3、当生产厂房内的自燃性特种气体的储存量超过57m³时，应设置独立的特种气体站。
4、大宗硅烷系统气体设备应布置在独立的开敞式建筑，不得布置在地下室。开敞式建筑应带屋顶遮盖，外墙面的遮挡部分不得大于三面，且墙体与墙体之间、墙体与屋顶结构之间应设置自然通风的空间。硅烷容器与四周障碍物的最小距离小于障碍物高度的2倍时，大宗硅烷系统应设置机械通风。
5、 硅烷站内大宗容器之间以及容器与工艺气体盘之间的距离小于9m时，应设置 2h以上的防火隔断。
6、 硅烷气瓶柜内的硅烷钢瓶应固定在钢架上，两个钢瓶之间应采用钢板隔离，钢板厚度应大于或等于6mm。
7、 剧毒性特种气体供应间应配置专用容器或堵漏工具、排风装置和剧毒性特种气体在事故状态下的排风处理装置。
8、 剧毒性特种气体供应间应设置双锁安全门、防盗窗和防止人员入侵的技术防范设施。
二、 特种气体系统的气瓶柜、气瓶架的设置应符合下列规定：
1、不相容气体瓶不应放置于同一气瓶柜或气瓶架中；
2、 气瓶柜闭门时应保持不低于100Pa负压，柜内的排风换气次数不得低于300次/h；
3、自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置固定式气体泄漏探测器；
三、特种气体系统吹扫气体的设置应符合下列规定：
1、 自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统的吹扫气体应与独立的气源连接，不得与公用气源或工艺气源系统相连；
2、 不相容性特种气体系统的吹扫气体不得共用同一气源；
3、 吹扫气体管线应设置止回阀。
4、 硅烷系统必须采用独立的惰性气源进行吹扫。
5、 硅烷连接管道钢瓶侧应设置常闭式紧急切断阀，硅烷站的安全出口应设置手动紧急切断按钮，至少有一个手动紧急切断按钮与输送装置的距离不应小于4.6m。
四、 储存、输送、使用特种气体的下列区域或场所应设置特种气体探测装置：
1、自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处；
2、 生产工艺设备的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体阀门箱的排风管口处，工艺设备的排风管口处；
3、生产工艺设备的特种气体的废气处理装置排风出管口处；
4、 惰性气体间可能产生窒息的区域；
5、自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体设备间。
五、 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性气体、氧气检测装置报警设定值应符合下列规定：
1、自燃性、易燃性气体的一级报警设定值不应大于25%易燃性气体爆炸浓度下限值，二级报警设定值不应大于50%易燃性气体爆炸浓度下限值；
2、剧毒性、毒性气体的一级报警设定值不应大于 50%空气中有害物质的最高允许浓度值一时间加权平均容许浓度(TLV-TWA)，二级报警设定值不应大于100%空气中有害物质的最高允许浓度值一时间加权平均容许浓度(TLV-TWA)；
3、 设在惰性气体间的氧气探测器，其一级报警设定值不应小于19.5%氧气体积浓度(V/V)，二级报警设定值不应小于18%氧气体积浓度(V/V)；
5.2.6 硅烷排风管道的气体探测器的报警设定值，应小于或等于50ppm，并应与硅烷气源的自动切断阀联锁；硅烷站环境气体探测器的报警设定值应小于或等于5ppm，环境气体探测器报警时，硅烷控制系统不应自动切断硅烷输送管路。