质量流量计桌面小型500W等离子清洗机，
等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性
质量流量计桌面小型500W等离子清洗机KT-Z5KQX
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供电电源
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AC220V（AC110V可选)
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工作电流
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整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)
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射频电源功率
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500W可调
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射频频率
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40kHz
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耦合方式
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电容耦合
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真空度
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≤30Pa
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腔体容积
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5L(内径 152mmX 深度 280mm)
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载物规格
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125mmX260mm
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气体流量
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0—50ml/min（其他量程可选）
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气体路数
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2 路质量流量计+精密流量控制阀
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过程控制
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自动控制
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清洗时间
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手动开关
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开盖方式
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铰链侧开式法兰
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真空室温度
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小于65°C
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外形尺寸
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450x450x250mm
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冷却方式
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强制风冷
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标配
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KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本，机械泵一台
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