工作流程:高纯化学品从入口进入吸附桶,流经PTFE滤芯。颗粒物被截留,金属离子等杂质被吸附,得到进一步纯化的化学品从出口流出,供给生产线上的工艺设备(如蚀刻机、清洗机)。PTFE材料提供了无可替代的关键特性,使其成为高纯腐蚀性化学品处理的理想选择:
1.极致的化学惰性
PTFE被称为“塑料王”,几乎不受任何化学品的侵蚀。无论是强酸(硫酸、硝酸、盐酸、氢氟酸)、强碱、强氧化剂还是有机溶剂,PTFE都能保持稳定。
2.极高的纯度与极低的溶出
PTFE材料本身非常纯净,在生产过程中经过严格清洗和封装,确保其不会析出离子和有机杂质。
3.优异的热稳定性
工作温度范围极广,可从-190°C到+250°C,能适应大多数化学品的工艺温度要求。
4.极低的表面粘附性
PTFE具有非常光滑的表面,不易粘附颗粒和污染物,有利于污染物的排放和清洗。
主要应用领域
半导体制造业: 在光刻、蚀刻、清洗等工艺中,用于过滤超高纯度的化学品,如硫酸、双氧水、氨水、盐酸、显影液、蚀刻液等。
光伏产业: 在太阳能电池片的生产中,用于制绒、蚀刻、去磷硅玻璃等工艺的化学品过滤。
平板显示: 用于LCD/OLED面板制造过程中的各种高纯化学液。
生物制药与实验室: 用于需要超纯溶剂和试剂的场合。
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