四氟晶圆夹也被称为四氟晶片夹,四氟硅片夹等,广泛用于半导体,新材料,多晶硅等行业中。
1.可用于晶圆、晶片、硅片的搬运与翻转,夹持装置配备旋转体和同步夹爪,支持自动翻转和防污染转运。
2.可调节夹具通过夹持块兼容不同尺寸晶圆,并控制抛光高度。
3.减少表面接触污染,确保晶圆完整性。
四氟晶圆夹具有以下特点:
1.耐腐蚀性好,在强酸强碱,有机溶剂的情况下,保持良好的产品性能。
2.耐受高低温,在-200℃到250℃下性能稳定。
3.表面光洁无吸附,对产品不产生污染。
4.金属空白值低,铅铀含量<0.01ppb。
5.可灵活定制,配套不同尺寸晶圆,硅片使用。
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