减震真空探针台，
减震台采用6mm厚1Cr17优质高导磁不锈钢，均布25mm孔距M6螺纹孔，台面布M6螺孔阵距25mm×25mm，振幅≤5um，台面平整精度0.1mm/m2 ，表面粗糙度0.8μm-1μm， 固有频率垂直3～6Hz 水平3～6Hz ，负载重量1200kg。
探针台机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa，加热台温度 196-350℃，探针臂精度≤0.01mm
减震真空探针台
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真空腔体
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腔体材质
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304不锈钢
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上盖开启
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铰链侧开
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加热台材质
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304不锈钢
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内腔体尺寸
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φ160x90mm
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观察窗尺寸
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Φ70mm
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加热台尺寸
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φ60mm
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观察窗热台间距
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75mm
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加热台温度
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﹣196~350℃
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加热台温控误差
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±1℃
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真空度
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机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
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允许正压
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≤0.1MPa
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真空抽气口
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KF25真空法兰
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气体进气口
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3mm-6mm卡套接头
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电信号接头
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SMA转BNC X 4
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电学性能
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绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V
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探针数量
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4探针
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探针材质
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钨针
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探针尖
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10μm
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探针移动平台
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X轴移动行程
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30mm ±15mm
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X轴控制精度
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≤0.01mm
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Y轴移动行程
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13mm ±12.5mm
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Y轴控制精度
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≤0.01mm
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Z轴移动行程
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13mm ±12.5mm
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Z轴控制精度
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≤0.01mm
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电子显微镜
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显微镜类别
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物镜
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物镜倍数
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0.7-4.5倍
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工作间距
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90mm
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相机
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sony 高清
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像素
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1920※1080像素
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图像接口
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VGA
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LED可调光源
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有
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显示屏
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8寸
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放大倍数
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19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm
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