一、技术原理：
（1）高温蒸镀设备膜厚检测仪器KT-Z165CVD，台式设计、软件自动操控、高性价比，非常适合实验室科研使用。
（2）通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为热蒸发镀膜，热蒸发镀膜技术是历史最悠久的PVD镀膜技术之一。热蒸发镀膜机一般主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下为蒸发镀膜设备的示意图。
二、真空度越高越不易氧化越接近金属本色：
★玻璃钟罩真空腔室，最直观的蒸发状态和薄膜沉积现象观察；
★复合分子泵和直联旋片泵，大抽速准无油真空系统（分子泵抽速≥400L/S）；
★两组水冷式蒸发电极，可长时间稳定工作，兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计；
★专业真空蒸发电源，数显工作电流和电压，恒流输出；
★可定制一体化高精度刻蚀掩膜板；
★衬底可选择加热或水冷，源基距≥300mm；
★可调速旋转靶台使薄膜更均匀；
★可沉积金属（Au,Ag,Al,Ca,Cu,Mg,Fe,Cr,Ni等）、非金属、化合物（MoO3,LiF等）及有机物材料，可拓展沉积单层膜、多层膜及混合膜；
★7寸显示器定时定点调节电流，达到控制功率效果；
★具有记忆储存功能，直接调出已储存的数据进行镀膜达到同样工艺效果；
★配置了靶台挡板，可手动调节或自动调节挡板，及时遮挡样品，保证样品效果；
三、技术支持&服务：
1.技术支持：在合同签订之前，我们的专业工程师会在充分了解客户需求的前提下，为客户做出*的选型和方案设计，使客户充分了解并理解产品技术指标、性能用途、使用场合、安全注意事项等，以帮助客户做出正确的选择。
2.安装与培训：在产品使用前，我们会派专业工程师为您提供现场技术支持、培训及演示服务。
3.产品质保：我们对产品提供12个月的质保期，在质保期内发生设备或配件损坏由公司负责赔偿或免费维修。（耗材和易损件除外）
4.终身维护：我们对提供的产品提供终身服务，对于超过质保期限的维修、维护仅收取材料费，免除一切人工费用。
以下是不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图
原样品没有镀膜 115A 100秒 机械泵
115A 100秒 分子泵抽12分钟 115A 120秒 分子泵抽20分钟
四、高温蒸镀设备膜厚检测仪器KT-Z165CVD技术资料：
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控制方式
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7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
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加热方式
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数字式功率调整器
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镀膜功能
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0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
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最大功率
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≤1200W
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最大输出电压电流
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电压≤12V 电流≤120A
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真空度
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机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤10^-3Pa
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挡板类型
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电控
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真空腔室
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石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm
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样品台
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可旋转φ62 （最大可安装φ50基底）
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样品台转速
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8转/分钟
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样品蒸发源调节距离
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70-140mm
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蒸发温度调节
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≤1800℃
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支持蒸发坩埚类型
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钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳
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预留真空接口
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KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口
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可选配扩展
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机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa）
数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa）
分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa）
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