常高低三温自动探针台设备主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
常高低三温自动探针台设备该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面最高可升温到最高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测
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腔体材质
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304不锈钢
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上盖开启
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铰链侧开
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加热台材质
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304不锈钢
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内腔体尺寸
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φ160x90mm
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观察窗尺寸
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Φ70mm
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加热台尺寸
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φ60mm
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观察窗热台间距
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75mm
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加热台温度
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35-350℃
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加热台温控误差
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±1℃
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真空度
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机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
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允许正压
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≤0.1MPa
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真空抽气口
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KF25真空法兰
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气体进气口
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3mm-6mm卡套接头
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电信号接头
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SMA转BNC X 4
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电学性能
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绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V
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探针数量
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4探针
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探针材质
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钨针
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探针尖
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10μm
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探针移动平台
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X轴移动行程
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30mm ±15mm
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X轴控制精度
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≤0.01mm
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Y轴移动行程
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13mm ±12.5mm
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Y轴控制精度
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≤0.01mm
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Z轴移动行程
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13mm ±12.5mm
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Z轴控制精度
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≤0.01mm
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电子显微镜
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显微镜类别
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物镜
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物镜倍数
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0.7-4.5倍
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工作间距
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90mm
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相机
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sony 高清
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像素
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1920※1080像素
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图像接口
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VGA
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LED可调光源
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有
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显示屏
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8寸
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放大倍数
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19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm
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