郑州科探仪器设备是高质量定制物理 气相沉积(PVD)系统的设计者和制造商,客户服务和售后服务出色。拥有7年以上真空和薄膜沉积技术经验。其研发团队在学界科学家和工程师的支持下,高度积极地开发新设计以满足客户的特殊要求。
郑科探的工程团队设计和制造的组件符合高质量标准。KT-Z1650PVD真空镀膜机已通过分销商销往许多大学和研究中心,并得到了很好的参考和反馈。
仪器描述:
实验室精密小型溅射仪器,能够在非导电或导电不良的样品上涂布金(Au),钯(Pd),铂(Pt)和金/钯(Au / Pd)的薄膜。 在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜,使样品适用于扫描电子显微镜(SEM)分析。仪器结构紧凑,全自动控制,设计符合人体工程学,所得结果一致,可重复性高。
产品特点:
• 彩色触摸屏:数据输入简单快速
• 通过触摸屏中直观检测数据和曲线;历史页面可显示历史涂层信息。
• 可控镀膜速率,可得到更精细的晶粒结构
• 可手动或自动,根据时间或根据厚度进行溅射
• 样品台更换简单:标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转;行星式旋转样品台为多孔样品带来好的喷金效果。

实验室精密小型溅射仪器技术参数;
控制方式
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7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
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溅射电源
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直流溅射电源
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镀膜功能
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0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
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功率
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≤1000W
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输出电压电流
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电压≤1000V 电流≤1A
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真空
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机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤5*10^-3Pa
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溅射真空
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≤30Pa
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挡板类型
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电控
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真空腔室
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石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm
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样品台
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可旋转φ62 (可安装φ50基底)
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样品台转速
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8转/分钟
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样品溅射源调节距离
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40-105mm
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真空测量
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皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa)
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预留真空接口
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KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口
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