射频滚筒式等离子清洗机，
等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性
射频滚筒式等离子清洗机KT-S2DQX-C
|
供电电源
|
AC220V（AC110V可选)
|
|
工作电流
|
整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)
|
|
射频电源功率
|
150W
|
|
射频频率
|
13.56MHz
|
|
频率偏移量
|
＜0.2MHz
|
|
特性阻抗
|
50欧姆，手动匹配
|
|
耦合方式
|
电容耦合
|
|
真空度
|
≤50Pa
|
|
腔体材质
|
高纯石英
|
|
腔体容积
|
Φ100mmX200mm
|
|
旋转速度
|
20转/分钟
|
|
气体流量
|
0—300ml/min
|
|
过程控制
|
触摸屏自动控制+手动调节流量
|
|
清洗时间
|
手0-999秒
|
|
外形尺寸
|
615X390X560mm
|
|
重量
|
56Kg
|
|
真空室温度
|
小于65°C
|
|
真空计量程
|
1E5Pa至1E-1Pa(皮拉尼真空计)
|
|
标配
|
KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本。
|
-
郑州科探仪器设备公司
- 地址：中国 ·河南省· 郑州市· · 郑州高新技术产业开发区西三环路289号6幢11单元3层73号
- 电话：86-0371-60308298
- 传真：86--
- 联 系 人：邱迎迎
- 电子邮件：2044525453@qq.com
- QQ：
- MSN：
- 网址：