实验室真空探针台是一种用来测量材料表面工作函数、电阻率、电荷密度乃至自发电势等表面电学性质的实验仪器。它是在真空环境下进行的,以避免气体分子对电性能测试的影响。真空探针台通过控制电势差和电流等参数,将电子注入材料表面,通过测量电子的能谱来计算所需的参数。真空探针台在材料科学、电子工程、以及半导体领域等有广泛的应用。
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