滚筒式等离子清洗机，
等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性
滚筒式等离子清洗机KT-S2DQX-C
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供电电源
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AC220V（AC110V可选)
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工作电流
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整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)
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射频电源功率
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150W
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射频频率
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13.56MHz
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频率偏移量
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＜0.2MHz
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特性阻抗
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50欧姆，手动匹配
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耦合方式
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电容耦合
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真空度
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≤50Pa
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腔体材质
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高纯石英
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腔体容积
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Φ100mmX200mm
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旋转速度
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20转/分钟
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气体流量
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0—300ml/min
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过程控制
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触摸屏自动控制+手动调节流量
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清洗时间
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手0-999秒
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外形尺寸
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615X390X560mm
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重量
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56Kg
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真空室温度
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小于65°C
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真空计量程
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1E5Pa至1E-1Pa(皮拉尼真空计)
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标配
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KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本。
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