光氧活性炭一体机利用的是典型的气-固相催化反应，其实质是活性氧参与的氧反应作用。在光氧活性炭一体机过程中，借助催化剂在低温下（200～400℃）下，实现对物的全部氧反应，催化剂的作用是降低活化能，同时催化剂表面具有吸附作用，使反应物分子富集于表面提升了反应速率，加快了反应的进行。
光氧活性炭一体机是用催化剂使废气中可燃物质在较低温度下氧化分解的净化方法。所以，光氧活性炭一体机又称为催化化学转化。光氧活性炭一体机中催化反应室是达到温度条件的废气进入催化反应室；一催化反应室采用抽屉式，内装蜂窝状催化剂，中间分插电加热组件，利用红外线辐射原理，使蜂窝状催化剂温度达到反应温度，使部份物进行分解，释放出能量，直接使废气温度提升，是本设备设计的三温度提升处，也叫催化升温；温度提升后的气体进入催化固定床，内置蜂窝状催化剂，达到反应条件的气体在此全部分解，废气变成洁净气体。本设施为催化净化装置的心脏。
光氧活性炭一体机的工艺流程：
1、自身热平衡式：当废气排出时温度较不错（在300℃左右），高于起燃温度，且物含量较不错，热交换器回收部分净化气体所产生的热量，在正常操作下能够维持热平衡，无需补充热量，通常只需要在光氧活性炭一体机反应器中设置电加热器供起燃时使用。
2、对于废气光氧活性炭一体机工艺的选择主要取决于：燃烧过程的放热量，即废气中可燃物的种类和浓度；起燃温度，即组分的性质及催化剂活性；热回收率等。当回收热量高于预热所需热量时，可实现自身热平衡运转，无需外界补充热源，这是节能的。
3、吸附-UV光氧净化器：当废气的流量大、浓度低、温度低，采用光氧活性炭一体机需耗大量燃料时，可先采用吸附手段将废气吸附于吸附剂上进行浓缩，然后通过热空气吹扫，使废气脱附出来成为浓缩了的废气（可浓缩10倍以上），再进行光氧活性炭一体机。此时，不需要补充热源，可维持正常运行。
4、预热式：预热式是光氧活性炭一体机的基本流程形式。废气温度在100℃以下，浓度也较低，热量不能自给，因此在进入反应器前需要在预热室加热升温，燃烧净化后气体在热交换器内与未处理废气进行热交换，以回收部分热量。该工艺通常采用煤气或电加热升温至催化反应所需的起燃温度。
光氧活性炭一体机反应温度在260℃~380℃之间，反应温度低。燃烧全部，然后产物为CO2和H2O，不产生二次污染，燃烧过程中产生大量热量。蓄热式燃烧能耗低。燃烧产生的热量能使燃烧室温度保持在260℃以上，停止一组或多组加热管工作，若废气浓度还大，室内温度继续升高，则停止加热管工作，只消耗风机功率即可。当废气浓度较低时，自动间歇补偿加热。
光氧活性炭一体机的主要功能特点：
1、目前来看，光氧活性炭一体机自动化程度高，设备启动、停止，随用随开，对于部分化工生产的不连续性，可以在生产时开启，不生产的间隙停止运行，大量的节约能源。
2、在光氧净化器实际运行的时候，以非甲烷总烃为例，用色谱法检测，非甲烷总烃除掉率也许只有45%，但恶臭异味的除掉率达90%。这是因为非甲烷总烃经过处理后，部分分子变成小分子，用色谱法检测时，依然表现为非甲烷总烃。恶臭异味的除掉率不错，表明实际已经分解了多数污染物质，因为分解后的物质也有部分有异味。
3、光氧活性炭一体机运行成本较低，比常用的蓄热式燃烧炉RTO节约运行费用5-8倍，每立方米气量运行费用仅为0.3~0.9分钱。
4、应用范围广阔，基本不受气温和污染物成分的影响，对恶臭异味的臭气浓度有良好的分解作用，恶臭异味的除掉率不错，处理后的气体臭气浓度达到行业标准。
5、光氧活性炭一体机的主机为成套工业废气处理装置，前面配有塔，能除掉废气中的粉尘和水分，操作简单。
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