光氧净化器由三个蓄热室构成，废气在PLC程序的控制下，循环执行以下的操作流程：进入已蓄热的蓄热室，使废气得以预热；然后进入氧化室，物被净化；净化后的高温气体由未蓄热的蓄热室吸热后排放，一部分处理后的气体被引回到第三室，吹扫其中残留的未处理废气；在污染物除掉速率要求不高的情况下，为节省资金，也可设计成两室结构。
光氧净化器主要是利用焚烧炉在催化剂的作用下将废气进行燃烧或氧化转化为水和CO2，从而达到废气处理的效果。光氧净化器人工加油润滑装置结构简单，主要应用在一般机械设备的分散润滑部位。人工加油润滑，润滑剂利用率低。一般用于低负荷、低速摩擦副的润滑。常用的人工加油润滑装置已标准化。
UV光氧净化器集中润滑装置主要用于设备上有大量润滑点的润滑系统，有间歇润滑和连续润滑两种形式。集中润滑减少了操作工人的手工劳动，提升了润滑的性。按使用润滑材料不同，有稀油集中润滑装置和干油集中润滑装置。润滑系统因设备而异，系统的主要元件也已大部分实现了标准化，给设备润滑系统的维护带来了方便。
普遍采用的防止维修方式是状态检测维修和定期维修。状态检测维修是对光氧净化器实际技术状态额外基础的防止维修方式，一般此设备日常点检和定期检查来查明设备技术状态，针对设备的劣化部位以及程度，在故障发生前，适时地进行防止维修，排除故障隐患恢复设备的功能和精度。状态检测维修方式的主要优点是：既能使设备经常保持良好状态，又能充足利用零件的使用寿命。对于有生产间隙时间和企业生产过程中安排维修的设备，都可以采用此此方法。定期对光氧净化器做维修这是一种从设备运行时间上来防止维修方式，具有对设备进行周期性维修的特点，根据光氧净化器的使用磨损规律，事先确定维修类别，维修间隔期，维修内容以及技术要求等。维修计划按光氧净化器的计划开动时数可作较长时间的安排。
光氧净化器的管道与设备保温的主要目的在于：减少热介质在输送的过程中中，有一些热的损失；所以，热介质在管道与设备表面具有相应的温度，以避免表面出现结露或高温人员等。催化燃烧由于起燃温度低，是一种较为理想的通过催化反应（无明火）处理污染物的方法，具有适用范围广、结构简单、净化速率还不错、节能、无二次污染等优点，已在了普遍应用。
光氧活性炭一体机作为一种治理有用废气污染的手段，取得了相当大的成效。但是，在光氧净化器的设计、加工、应用过程中，还存在一些潜在的不稳定因素、事故隐患，严重时装置将发生火灾和爆炸。为此，应统一制定关于催化燃烧治理有用废气的浓度控制标准或设计规范。除上述因素外，从技术角度考虑，以下几点不稳定因素也值得注意：
一、有用气体的爆炸下限与温度有关。通常，温度愈高，反应速度愈快，爆炸限度范围愈大。当进入光氧净化器的有用废气浓度过大时，光氧净化器的温度将会升高，加之之前光氧净化器均未设置废气浓度检测和控制设备，而温度升高后的有用废气的爆炸下限值将比手册给出的值要小，再加上装置中有用废气成分混合的不均匀性，在局部区域可能高温条件下废气的真实爆炸下限，则有爆炸的危险。
二、一般来讲，大多数有用废气中的有用成份在同样爆炸下限浓度下，所含的燃烧热值可视为相同值，每1%的爆炸下限值约含热值1868千焦/牛·米勺如果全部燃烧，即热值全部用于使废气本身升温，则1%的爆炸下限值的废气燃烧可使废气升温15.3℃；当废气浓度达到25%的爆炸下限值时，可使废气本身温度升高。
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